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3M半导体冷却导热液(FC-40,FC-3283，FC-43，HFE-7100，HFE-7200，HFE-7300，HFE-7600) |
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３Ｍ? Novec? 高機能性液体、フロリナート? フッ素系不活性液体半導体製造装置の温度制御（熱媒体?ブライン）用途
電気特性に優れ、メンテナンス性を向上します。超低温から高温まで、幅広い温度に対応します。
特長
- 優れた電気特性（電気特性?体積抵抗値）
- 超低温から高温まで幅広い温度範囲に適用可能
- 各種部材との適合性が良い
- 引火点が無い
- 実用上無毒
- オゾン破壊係数ゼロ
- 低地球温暖化係数（３Ｍ? Novec? 高機能性液体)
ドライエッチング装置電極部
温度コントロール用途 
用途例 各種半導体製造装置の温度制御露光装置、ドライエッチング装置、スパッタリング装置、CVD装置、イオン注入装置
ICテスター、プローバー、ハンドラー、バーンイン装置 他
技術情報 使用推奨温度域 
動粘度 
適合性の良い材料（例）
Novec? 高機能性液体
- プラスチックポリプロピレン?ポリカーボネート?ポリエステル?エポキシ?PET?ABS?PTFE?アクリル（7100、7200のみ）
- 金属アルミニウム?銅?炭素鋼?ステンレス?真鍮?モリブデン?タンタル?タングステン
- ゴムブチルゴム?ニトリルゴム?EPDM
- ※PTFEでは若干の体積膨張を起こします。
- ※念のため事前に適合性をご確認ください。
- ※可塑剤の入っていない材料を推奨します。
フロリナート? フッ素系不活性液体
- プラスチックアクリル?ポリプロピレン?ポリカーボネート?ポリエステル?エポキシ?PET?ABS?PTFE
- 金属アルミニウム?銅?炭素鋼?ステンレス?真鍮?モリブデン?タンタル?タングステン
- ゴムブチルゴム?ニトリルゴム?EPDM?フッ素ゴム
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今天是：
